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[会议论文] 作者:杨佩春,陶增六,侯立, 来源:1987年中国电子学会电子元件学会第六届学术年会 年份:1987
[会议论文] 作者:侯立,陶增六,杨佩春, 来源:1987年中国电子学会电子元件学会第六届学术年会 年份:1987
[期刊论文] 作者:杨佩春,侯立,陶增六, 来源:人工晶体 年份:1986
采用激光脉冲法对新型的功能材料——高导热金刚石陶瓷的导温系数进行了测量;用扫描电镜观察其显微结构,并对导温系数和显微结构的关系进行了探讨;描述了金刚石陶瓷的两种导...
[期刊论文] 作者:戚立昌,侯立,杨佩春,浦新, 来源:微细加工技术 年份:1990
试图从气象中生长金刚石的研究可追朔到本世纪初,德国科学家Von Bolton,W和Tammann,G的实验。也有人认为可追朔到1880年发表的法国科学家Hannay的著名实验。但是,他们都没制...
[期刊论文] 作者:杨佩春,戚立昌,侯立,浦新, 来源:人工晶体学报 年份:1989
本文利用热丝 CVD,电子束增强热丝 CVD 及射频等离子体 PCVD 方法,以甲烷(CH_4)、乙醇(C_2H_5OH)和 H_2的混合气体为原料,在Si(111)及石英玻璃基片上生长出金刚石薄膜。经X...
[期刊论文] 作者:曹金祥,俞昌旋,詹如娟,高克林,戚立昌,杨佩春, 来源:人工晶体学报 年份:1993
在类金刚石和金刚石膜的沉积过程中,等离子体电子密度的变化对工艺参数有很大的影响。本文介绍了用于测量 EACVD 中等离子体电子密度的微波干涉仪,给出了测量原理、干涉仪结...
[期刊论文] 作者:胡晋生,卢鸿修,朱静,戚立昌,杨佩春,玄真武,浦新,侯立,, 来源:高技术通讯 年份:1991
用透射电镜研究了热丝增强式化学气相沉积(HFECVD)金刚石薄膜和界面的微观结构及生长方式。Plane-view 样品观察表明,不同颜色薄膜的内部晶粒尺寸、缺陷类型及生长方式不同。...
[期刊论文] 作者:胡晋生,卢鸿修,朱静,宁小光,叶恒强,戚立昌,杨佩春,玄真武,浦新,侯立, 来源:人工晶体学报 年份:1991
本工作利用透射电镜对电子束增强热丝化学汽相沉积金刚石薄膜的微观结构及生长方式进行了研究。观察表明:外强颜色不同的金刚石膜,其内部晶粒尺寸、缺陷类型和生长方式也不同...
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