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[期刊论文] 作者：陈选龙, 杨妙林, 李洁森, 刘丽媛, 黄文锋,,
来源：微电子学 年份：2004
介绍了一种针对集成电路氧化层失效的定位和分析技术。采用光发射显微镜、光致电阻变化技术,对比出电路中不同的发光机构或电阻变化点。结合电路故障假设法和版图分析,对氧化...
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