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[期刊论文] 作者：杨宝喜,,
来源：亚太传统医药 年份：2004
目的:整理黄花黄芩的相关资料,为其今后的应用研究提供参考。方法:查阅相关历代本草及检索相关文献报道,并整理资料。结果:整理了黄花黄芩的本草考证、临床应用和化学成分等...
[学位论文] 作者：杨宝喜,,
来源：长春理工大学 年份：2006
本论文围绕着数码投影机、数码照相机、LCD用背光源等现代光电影像系统，分析其光学系统工作原理、研究主要光学零部件的关键技术以及国内外的研制、生产加工水平，归纳出适用于......
[会议论文] 作者：刁鹏程,杨宝喜,
来源：第一届鲁粤路桥机械化施工养护与管理研讨会 年份：2004
青岛市公路管理局于 1993年进口了一台美国爱士太克公司生产的120T/H连续式沥青搅拌设备，本文介绍了对进口Astec沥青拌和机进行的技术改造,保留连续式,增加间歇式功能....
[会议论文] 作者：刁鹏程,杨宝喜,
来源：第一届鲁粤路桥机械化施工养护与管理研讨会 年份：2004
AMOMATIC C-240型沥青混合料搅拌设备秉承了模块式等众多优点,并增加了变频调节等的新技术.本文对该种型号沥青混合料搅拌设备特点进行了介绍。...
[期刊论文] 作者：龚爽,杨宝喜,黄惠杰,
来源：中国激光 年份：2020
研究离轴照明的系统中,光学表面环带中频面形误差对于照明光场均匀性和半影宽度的影响.推导了二极照明下中频面形误差的峰谷(PV)值和系统的相干因子对线扩展函数(LSF)分布的...
[期刊论文] 作者：龚爽,杨宝喜,黄惠杰,
来源：光子学报 年份：2022
提出了一种快速计算光学系统像面照度均匀性的算法,通过近似算法计算系统数值孔径,并利用出射光瞳数值孔径表征像面照度.利用该算法计算光场不均匀性,将其作为自动优化过程中的评价函数之一,优化设计光刻机照明系统中继镜组.通过Light tools软件对设计的中继镜......
[期刊论文] 作者：谢承科,陈明,杨宝喜,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2015
在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中,为了精确控制曝光剂量,需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤...
[期刊论文] 作者：陈明,谢承科,杨宝喜,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2016
为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏...
[会议论文] 作者：朱菁,张方,杨宝喜,黄惠杰,
来源：全国激光科学技术青年学术交流会 年份：2015
高端光刻机中需要利用离轴照明光瞳整形技术提高光刻分辨率和增大焦深。如何实现高效的光瞳整形是研究人员关心的课题。衍射光学元件具有衍射效率高、设计自由度大的优点，而且不受入射光强起伏的影响，因此已经取代折射型光瞳整形元件成为高端光刻机的主流。......
[期刊论文] 作者：师中华,杨宝喜,魏张帆,李璟,黄惠杰,
来源：激光与光电子学进展 年份：2015
透镜作为光学系统中最基本的光学元件,其中心厚度的加工误差和装配精度将直接关系到整个光学系统的成像质量.对镜面间距非接触测量技术进行了研究,重点介绍了图像法、轴向色散法、差动共焦法、低相干光干涉法等方法的测量原理和研究进展,指出了这些方法的优缺点......
[期刊论文] 作者：李璟,杨宝喜,胡中华,肖艳芬,黄惠杰,,
来源：光学学报 年份：2013
针对星敏感器系统探测要求,设计了像方远心光路的双高斯光学系统。该系统在满足弥散斑和能量集中度等要求的情况下,具有相对孔径大、畸变小、色差小以及星点位置对离焦不敏感...
[期刊论文] 作者：宋强,杨宝喜,袁乔,李璟,朱菁,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2014
提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难...
[期刊论文] 作者：甘雨,张方,朱思羽,龚爽,黄惠杰,杨宝喜,
来源：中国激光 年份：2019
针对光刻机照明系统的实际应用需求,提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布进行转换,可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数。以一种28 nm节点扫描光刻......
[期刊论文] 作者：胡中华, 朱菁, 杨宝喜, 彭雪峰, 曾爱军, 黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2013
光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行...
[期刊论文] 作者：师中华,杨宝喜,胡小邦,金超群,魏张帆,李璟,黄惠杰,
来源：光学学报 年份：2016
描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先，采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增，然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量，再利用包络提取算法对低相干干涉信号的零光程差位置进行定位，最后实现镜面间距的......
[期刊论文] 作者：肖艳芬,朱菁,杨宝喜,胡中华,曾爱军,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2013
均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有...
[期刊论文] 作者：胡中华,杨宝喜,朱菁,肖艳芬,曾爱军,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2013
投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式...
[期刊论文] 作者：哈斯额尔顿,那音台,春光,杨宝喜,王青虎,
来源：中国中医药咨讯 年份：2010
目的：测定并比较不同产地小白蒿多糖含量。方法：苯酚-硫酸比色法测定多糖含量。结果：该法的平均回收率为99．02％，RSD为1．08％（n=6）。结论：不同产地的小白蒿中多糖含量差异明显。......
[期刊论文] 作者：程伟林,张方,林栋梁,曾爱军,杨宝喜,黄惠杰,
来源：光学学报 年份：2018
提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光场均匀性的影响,并验证了该方法的高效性。......
[期刊论文] 作者：程伟林,张方,林栋梁,曾爱军,杨宝喜,黄惠杰,
来源：光学学报 年份：2018
提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.2%;当校正手指的前端有......
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