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[学位论文] 作者:杨富理, 来源: 年份:2021
本文提出了一种新的刻蚀蓝宝石的方法,即金属氧化物涂层辅助激光刻蚀蓝宝石,研究表明该方法明显提高激光直接刻蚀效率。本文研究分析了金属氧化物涂层辅助激光刻蚀蓝宝石的机理与工艺,为其工程应用打下基础,进行了以下研究工作:对比研究了不同粉体吸收层辅助激......
[期刊论文] 作者:杨富理,袁根福,李浩, 来源:激光技术 年份:2021
为了提高蓝宝石对普通红外激光的吸收效率,采用金属氧化物涂层辅助1064nm红外光纤激光器刻蚀蓝宝石.通过单因素研究方法,研究了不同金属氧化物涂层的刻槽阈值以及激光能量和金属氧化物涂层对刻蚀率的影响,对6种金属氧化物涂层辅助激光刻蚀的差异以及刻蚀机理进......
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