搜索筛选:
搜索耗时0.0325秒,为你在为你在61,042,061篇论文里面共找到 3 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：朱国夫,杨达永,
来源：微电子技术 年份：2002
离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难,并使SHEET值的均一性恶化.本文借助计算机模型,对注入剂量、注入能量、硅片基板方位、硅片表面薄膜氧化层厚度变化...
[期刊论文] 作者：廖世荣,杨达永,方佼,
来源：微电子技术 年份：2002
本文根据涂胶设备在加工制品过程中所遇到的制品背面沾污问题,提出改进措施,并根据设备的具体情况,增加了涂胶设备的背面冲洗功能.使制品在涂胶过程中,及时地对制品背面进行...
[期刊论文] 作者：杨达永,廖世荣,方佼,
来源：微电子技术 年份：2002
本文从接触式光刻技术的角度出发,对引起光刻掩模版局部损坏的可能原因进行分析,并根据遇到的具体情况,提出改进方法,开发新的生产工艺技术,使接触式光刻机掩模版的寿命有了...
相关搜索：
