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[期刊论文] 作者：松岡祥隆,宋尔纯,
来源：传感器技术 年份：1986
本发明是应用在半导体单晶体内扩散电阻的半导体应变计来检测压力的压力传感器。 此种压力传感器,是对n型硅之类半导体的单晶体选择扩散p型电阻,外加压力,使半导体单晶体发...
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