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[学位论文] 作者：林德教,
来源：清华大学 年份：2003
微电子掩模板的线条宽度、台阶高度、膜厚等几何参数的测量和标定是当前精密计量领域的热点之一。本课题根据国际和国内微电子工业的发展趋势，与中国计量科学研究院联合建立了......
[期刊论文] 作者：林德教, 蒋弘, 殷纯永,,
来源：中国激光 年份：2004
用横向塞曼激光作光源构成的 Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响 ,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移 ,具有 0 .7nm分辨率。分析了光栅退偏效应的影响...
[期刊论文] 作者：林德教,吴健,殷纯永,
来源：光学技术 年份：2001
柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度...
[期刊论文] 作者：林德教,殷纯永,林映侠,
来源：首都经济贸易大学学报 年份：2001
我国的学者在评价企业竞争力方面作了大量的研究,并取得了初步的成果.但是至今仍缺少一个定量的表达方法,这种状况和广泛采用数字技术和工具的现实不相适应.鉴于此,本文试图...
[期刊论文] 作者：晁志霞,林德教,殷纯永,
来源：光学技术 年份：2004
基于相位测量的外差干涉系统以其信号处理方面的优势在光学计量领域得到了广泛的应用.介绍了采用机械调制方法的差动单频干涉系统的干涉信号小数级次的相位测量实现方法.针对...
[期刊论文] 作者：林德教,柳忠尧,徐毅,殷纯永,
来源：计量学报 年份：2004
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5 μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM.实验比较...
[期刊论文] 作者：柳忠尧,林德教,殷纯永,蒋弘,
来源：光学技术 年份：2002
提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上 ,将测量放大倍率又扩展了 4倍 ,从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射...
[期刊论文] 作者：吴健,林德教,殷纯永,郭继华,
来源：中国激光 年份：2002
基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角 ,在该反射面...
[期刊论文] 作者：林德教, 殷纯永, 林映侠, 张茵绮,,
来源：经济问题探索 年份：2001
一、前言:企业作为直接运行于市场中的基本细胞,是一个国家国际竞争力表现的载体,提高企业的国际竞争力是我国综合国力增强的前提.随着加入WTO的日益临近,我国企业所面临的社...
[期刊论文] 作者：毛文炜,林德教,殷纯永,霍玉晶,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2001
弹光效应双反射膜是一种各向异性的高反射膜。在预加了应力的基片上镀制高反射膜 ,然后撤去基片上的预加应力 ,则基片上因弹性变形而产生的应变便转移到了膜系上。由于弹光效...
[期刊论文] 作者：林德教,柳忠尧,张蕊,殷纯永,徐毅,
来源：中国激光 年份：2003
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到 0 1nm。由此同时满足了......
[期刊论文] 作者：岳兆阳,林德教,宋南海,孟永钢,殷纯永,,
来源：中国激光 年份：2007
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法,用于在线检测磁头飞行高度瞬态调制变化。...
[期刊论文] 作者：林德教,平井亚纪子,松本弘一,曾理江,殷纯永,
来源：中国激光 年份：2003
提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪 (FTS) ,光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案 ,通过对三个波长分别为 670nm ,63 3nm和 5 3 2...
[期刊论文] 作者：柳忠尧, 闫聚群, 张蕊, 林德教, 殷纯永, 叶孝佑, 许,
来源：计量学报 年份：2005
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法.利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行...
[期刊论文] 作者：闫聚群,柳忠尧,林德教,张蕊,殷纯永,徐毅,许婕,
来源：中国激光 年份：2005
台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,...
[期刊论文] 作者：柳忠尧,闫聚群,张蕊,林德教,殷纯永,叶孝佑,许婕,
来源：计量学报 年份：2005
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行...
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