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[学位论文] 作者:梁宏民, 来源: 年份:2016
随着高新科技的快速发展,轴承工作环境、速度和精度的要求不断提高,静压气体轴承由于高速度、高精度、粘性摩擦小、低功耗等优点应用于三坐标测量机、微电子制造平台等超精密设备。随着下一代光刻曝光、干涉测量和半导体检测技术的发展,轴承工作环境逐渐变为真......
[期刊论文] 作者:李运堂,梁宏民,吴进田, 来源:科技通报 年份:2017
通过对静压气体润滑雷诺方程分析,采用有限元法离散求解区域,利用三角形插值函数得出气膜压力方程组。基于Matlab编写了方程组数值求解的计算程序,得出轴承气膜压力分布、承载能......
[期刊论文] 作者:李运堂,吴进田,梁宏民,赵静一,贾宇宁,, 来源:计算机测量与控制 年份:2015
为了实现对静压气体轴承气膜厚度,压力分布和承载能力的自动检测,设计了一种基于单片机的检测装置和控制系统;该系统采用ATmega16L单片机作为平台运动控制和数据处理的核心,结合软件控制步进电机的转向和转速,实现了极坐标定位,并采集承载力,气膜压力和气膜厚度......
[期刊论文] 作者:李运堂,沈传康,赵静一,吴进田,梁宏民, 来源:科技通报 年份:2017
设计了用于真空环境下静压气体轴承性能检测的真空系统,确定了真空系统抽气机组类型、抽速,计算出系统抽气时间;采用有限元法分析和校核了真空室结构强度和稳定性。实验表明:真空......
[期刊论文] 作者:李运堂,梁宏民,赵静一,吴进田,贾宇宁,朱红霞,, 来源:测控技术 年份:2015
采用LabVIEW设计了静压气体轴性能检测装置的测控软件。上位机软件通过串口与下位机进行指令传送和数据交换,控制检测装置运行,接收由AVR单片机采集的气体压力传感器、测力传感器和位移传感器的实验数据,同时对数据进行分析计算并实时显示和自动保存。实验结果......
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