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[期刊论文] 作者：徐均琪,上坂裕之,梅原德次,,
来源：西安工业大学学报 年份：2007
表面波等离子体（surface-wave-sustainedplasma，SWP）是近年发展起来的一种新型低压，高密度等离子体，应用这种技术，采用物理气相沉积（PVD）方法，很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积（IB......
[期刊论文] 作者：徐均琪,上坂裕之,梅原德次,刁东风,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
表面波等离子体（Surface-wave-sustained plasma，SWP）是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体。应用这种技术，很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积（IBAD），从而制备出性能优......
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