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[期刊论文] 作者:梅盛超, 王文, 雷刚,, 来源:压电与声光 年份:2019
该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究,以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构,其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉...
[期刊论文] 作者:王文, 梅盛超, 薛蓄峰, 梁勇, 潘勇, 雷刚,, 来源:应用声学 年份:2018
将钯基材料对氢气分子的特异选择性吸附能力与声表面波的快速响应特点相结合,可实现一种快速、高灵敏和低功耗的氢气检测与报警技术。传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传...
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