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[期刊论文] 作者:樊勖昌, 来源:洁净与空调技术 年份:1994
随着半导体、集成电路的发展,特别是大规模集成电路发展到超大规模集成电路阶段,电路线宽已小于1μm以下。对生产过程中所使用的纯水水质更加严格(表1)。水质主要指标是电阻...
[期刊论文] 作者:樊勖昌, 来源:洁净与空调技术 年份:1999
在现代超纯水制备系统的预处理,脱盐和精处理的三个阶段,膜分离技术正逐渐代替传统的净化工艺,本文系统介绍了膜分离技术的具体应用情况。...
[期刊论文] 作者:史九龄,樊勖昌, 来源:特种结构 年份:1995
本文简要介绍了高纯水的水质要求,高纯水系统常用的塑料管材,管道对高纯水水质的影响及其测定方法。This article briefly introduced the water quality requirements for h...
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