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[期刊论文] 作者：彭旭辉,李鹏,席克瑞,段勤肄,贾振宇,邢一凡,
来源：中国新通信 年份：2020
液晶移相器可作为中低轨无线卫星中相控阵天线实现电控波束扫描的关键部件。本文提出了一种基于成熟面板技术的高精度、低成本液晶移相器可行的量产化制造方案。实现了低方块电阻（Rs＜0.02），高精度线宽线距（1μm厚铜CD/Space可达到3.5μm/8μm），并支持多规格Cu膜层厚度（1......
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