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[学位论文] 作者：段启惠,
来源：东北大学 年份：2019
多级真空干泵通过对不同转子形式进行串联集成,可实现不同的极限压力与抽速要求,广泛适用于半导体工业、化工装备行业以及薄膜制备工业等等。目前为了提升多级真空干泵抽气性能,国内外真空泵制造厂家及广大科研院所针对多级真空泵抽气原理、升级设计均开展了广......
[期刊论文] 作者：段启惠, 李灿伦, 刘坤, 巴德纯, 王光玉, 孔祥玲, 刘,
来源：真空 年份：2004
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前...
[期刊论文] 作者：段启惠,李灿伦,刘坤,巴德纯,王光玉,孔祥玲,刘在行,张振厚,孙,
来源：真空 年份：2018
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