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[学位论文] 作者：段小晋,,
来源：四川大学 年份：2006
常压射频低温冷等离子体具有温度低、损伤小、成本少和没有环境污染等优点，在许多领域，如刻蚀、镀膜、表面改性以及杀菌消毒等领域，都具有巨大的应用前景，近几年来已成为国际上研......
[期刊论文] 作者：段小晋,,
来源：无线互联科技 年份：2017
在半导体激光器芯片加工方面，采用传统的芯片减薄并口抛光技术难以满足芯片加工要求。基于这种情况，文章提出采用摇摆式垂直切深进给晶片减薄工艺和化学机械抛光工艺进行半导体......
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