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[期刊论文] 作者：段成龙 张博 薛书亮,
来源：科学导报·学术 年份：2020
【摘 要】高纯多晶硅生产的数量与品质直接影响下游需求。本文通過分析多晶硅生产过程中引入的污染物，以及分析去除各污染物的工艺需求，并按工艺需求设计了全自动高纯多晶硅清洗系统，最后介绍了实现高纯多晶硅清洗工艺的关键设备。 【关键词】高纯多晶硅;多晶硅......
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