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[学位论文] 作者:殷可为,,
来源:中国科学院研究生院(光电技术研究所) 年份:2014
光刻机是制作极大规模集成电路的核心设备。光刻照明系统是光刻机的重要组成部分,它包括扩束系统、光束整形系统、匀光系统和照明物镜系统,其主要作用是利用衍射元件实现离轴照......
[期刊论文] 作者:殷可为,胥頔,张龙,杨富荣,
来源:光电工程 年份:2016
基于可调谐半导体激光吸收光谱(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,TDLAS)技术及修正型代数迭代算法(Algebraic Reconstruction Technique,ART),选择频率为7 153.7 cm...
[期刊论文] 作者:殷可为,黄智强,林妩媚,邢廷文,
来源:光电工程 年份:2012
本文采用衍射角谱理论对衍射光学元件的光场分布进行数字计算。该理论包括两种表达方式:既可用含有传递函数的等式表达,也可用含有点扩散函数的等式表达。这两种计算方法在本......
[期刊论文] 作者:殷可为,黄智强,林妩媚,邢廷文,
来源:光电工程 年份:2011
横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4...
[期刊论文] 作者:殷可为,黄智强,林妩媚,邢廷文,
来源:红外与激光工程 年份:2004
衍射光学元件被广泛应用于激光光束整形领域中。然而,在实际测量中常常发现衍射效率实际的测量值与设计值存在较大的偏差,原因之一在于输出的焦斑主瓣以外会产生高级次衍射杂散......
[期刊论文] 作者:张俊,吴运刚,严来军,殷可为,
来源:气体物理 年份:2021
瞬态密度场的可视化对于超声速流场复杂流动机理研究有着重要的参考价值.设计了基于脉冲激光照明的瞬态密度场可视化系统,针对非对称尖锥模型在Ф=120 mm激波风洞开展了双方...
[期刊论文] 作者:殷可为,黄智强,林妩媚,邢廷文,,
来源:红外与激光工程 年份:2013
衍射光学元件被广泛应用于激光光束整形领域中。然而,在实际测量中常常发现衍射效率实际的测量值与设计值存在较大的偏差,原因之一在于输出的焦斑主瓣以外会产生高级次衍射杂...
[期刊论文] 作者:胡尚炜,殷可为,涂晓波,杨富荣,陈爽,
来源:实验流体力学 年份:2021
CO是碳氢化合物燃烧的主要产物之一,准确测量超燃冲压发动机出口的CO浓度是评估碳氢燃料燃烧效率的重要依据。中红外波段的CO谱线相较近红外而言,具有吸收更强、谱线丰富且谱...
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