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[期刊论文] 作者:殷海丰, 傅颖洁, 陈涛,, 来源:甘肃科技 年份:2012
随着高频大功率器件的广泛应用,对用于制作器件的外延片的要求也越来越高,其中最重要的是外延层电阻率。为了提高器件的工作频率与工作电压,要求外延层电阻率要高,电阻率均匀...
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