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[学位论文] 作者：毛琪俊,
来源：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 年份：2020
EUV多层膜反射镜的光学稳定性以及使用寿命是制约EUV光刻机发展的重要因素。因此,在极紫外光刻机中,对多层膜反射镜光学元件表面碳沉积进行及时、有效的清洗尤为重要。目前,一种由EUV辐照低压气体产生的等离子体—EUV诱发等离子体,在多层膜表面积碳的原位、在线......
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