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[期刊论文] 作者：江少昆,吴鹏,,
来源：集成电路应用 年份：2016
现代电子器件的大规模集成电路被植入在半导体之上,这些半导体被称为衬底,通过不同的掺杂,得到不同的电路组件。在制作军用高功率微波器件时,需要研究新材料和新工艺。相控阵...
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