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[期刊论文] 作者：江月艳,张世权,,
来源：电子与封装 年份：2014
为降低涂胶工序的生产成本,减少光刻胶的用量,需要在涂胶工艺上不断改进和提高。从原来传统的涂胶工艺到RRC(Reduced Resist Consumption)工艺,能够使光刻胶的用量减少,而随...
[期刊论文] 作者：吴建伟,江月艳,贺琪,王传博,,
来源：电子与封装 年份：2009
文章通过对多晶薄膜的性质和多晶电阻形成工艺的稳定性研究，剖析在生产过程中三种形成多晶电阻主要工艺的波动情况，并对形成工艺波动的原因和控制方法进行了讨论。同时对于采取......
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