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[期刊论文] 作者：池金晓,
来源：读与写 年份：2021
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[期刊论文] 作者：牛晓龙, 蔡春立, 何凤池, 金晓鹏,,
来源：河北工业科技 年份：2014
对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不...
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