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[期刊论文] 作者:汤昌社,潘嘉声,周建友,胡润洪,, 来源:中国测试技术 年份:2008
为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环......
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