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[期刊论文] 作者：汪学方,,
来源：机械与电子 年份：2018
针对现有的圆片级真空封装存在检测难、易泄漏等问题,提出了内置皮拉尼计的硅通孔圆片级MEMS真空封装方法。研制了用于圆片级真空封装导线互连的硅通孔,探讨了玻璃盖板与硅圆...
[学位论文] 作者：汪学方,
来源：华中科技大学 年份：2001
该文系统地研究了微石英晶振的多功能扫描探针显微技术.其主要研究成果如下:采用微石英晶振作为微力传感器来取代传统的微悬臂和光学检测装置,通过对微石英晶振的测量机理的...
[期刊论文] 作者：汪学方,李斌,
来源：武汉汽车工业大学学报 年份：1998
利用改进的ＢＰ网络补偿数控台的运动误差，使精度提高６９％，实验表明，这是一条通过智能技术来提高精度的新方法。...
[期刊论文] 作者：汪学方,张鸿海,
来源：华中理工大学学报 年份：2000
为了克服传统的扫描探针显微镜（ＳＰＭ）在应用中的不足，采用微石英晶振来取代传统ＳＰＭ的具有复杂结构的微悬臂的激光位移检测装置，使成本极大地下降。通过对锯齿型光栅试件的检测，证明这种检......
[期刊论文] 作者：汪学方,张鸿海,
来源：华中科技大学学报：自然科学版 年份：2001
从理论上研究了粘附微小针尖后造成石英晶振的品质因素Q值降低的原因,通过实验得出合适的针尖直径、长度等参数,使石英晶振的Q值大大地提高,从而提高仪器检测的灵敏度....
[期刊论文] 作者：汪学方,张鸿海,
来源：武汉汽车工业大学学报 年份：2000
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。其原理是利用谐振频率为１ＭＨｚ的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，振动特性发生变化，通过......
[期刊论文] 作者：徐龙,张鸿海,汪学方,
来源：武汉汽车工业大学学报 年份：2000
采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置，使成本极大地下降。采用锁相环电路可将系统频响从1Hz提高到1kHz，通过对光栅试件的检测，证明本种检测方......
[期刊论文] 作者：刘金,张鸿海,汪学方,
来源：华中科技大学学报(自然科学版) 年份：2002
讨论了磁力显微镜中的镍针尖的制备技术;并通过改进以往采用直流电化学腐蚀方法制备针尖的电路,可以在金属丝被腐蚀断裂瞬间获得更短的腐蚀电流切断时间.当腐针电路切断时间...
[期刊论文] 作者：汪学方,李斌,刘恩沧,
来源：武汉汽车工业大学学报 年份：1998
利用改进的ＢＰ网络来补偿数控转台的运动误差，使精度提高了６９％。实验证明，这是一条通过智能技术来提高精度的新方法。Using the improved BP network to compensate for the motion...
[期刊论文] 作者：刘川,汪学方,罗小兵,,
来源：工程热物理学报 年份：2011
介绍了一种基于热学知识设计的表面薄膜微型MEMS皮拉尼计,并将其用于圆片级真空封装腔体的真空度测量中。为了设计灵敏度较高的皮拉尼计,对不同结构的皮拉尼计的热量分布进行...
[期刊论文] 作者：汪学方,杨俊波,张鸿海,
来源：机械与电子 年份：2005
对汽车安全气囊及控制系统进行了研究,提出一种安全气囊智能控制系统设计方案.该方案采用了加速度计和单片机控制技术,实现安全气囊及时准确触发,提高了安全气囊系统可靠性,...
[期刊论文] 作者：汪学方,杨俊波,张鸿海,
来源：机械与电子 年份：2005
基于圆片键合技术,设计了一种在真空条件下进行圆片键合的工艺设备.在该设备的基础上,进行了阳极键合与金硅键合2种典型的键合试验,键合出来的样品结合强度高而且没有缺陷,验...
[期刊论文] 作者：施阳和,张鸿海,汪学方,
来源：中国陶瓷 年份：2007
MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的.为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开...
[期刊论文] 作者：汪学方,张波,刘胜,刘磊,,
来源：传感器与微系统 年份：2007
电刺激视网膜相关组织是现阶段治疗视网膜色素变性和黄斑病变的一种新途径，运用微加工技术，通过人造视网膜传感芯片替代受损的视网膜细胞恢复视觉是可行的，植入芯片具有微型化、......
[期刊论文] 作者：汪学方,张鸿海,王生,徐龙,
来源：华中科技大学学报（自然科学版） 年份：2004
为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM) 在应用中的不足,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置,使成本极大地下降.通过对锯齿型光栅试件的检...
[期刊论文] 作者：王生,张鸿海,汪学方,徐龙,,
来源：工具技术 年份：2000
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).以谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,其振动特性发生变...
[期刊论文] 作者：汪学方,张鸿海,王生,徐龙,
来源：武汉汽车工业大学学报 年份：2000
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).其原理是利用谐振频率为1 MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特...
[期刊论文] 作者：郭文明,张鸿海,王志勇,汪学方,
来源：武汉理工大学学报(信息与管理工程版) 年份：2001
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近试件表面过程中,振动特性发生变化.通过检测...
[期刊论文] 作者：马斌,陈明祥,张鸿海,刘胜,汪学方,
来源：半导体技术 年份：2005
利用激光干涉测量法,对键合后的硅片表面翘曲进行了检测,统计了表面质量分布,对键合工艺进行筛选,优化工艺参数,表面质量得到很好的保证....
[期刊论文] 作者：张卓,汪学方,王宇哲,刘川,刘胜,,
来源：电子与封装 年份：2011
提出一种适用于微机电系统(MEMS)圆片级真空封装的键合结构,通过比较分析各种键合工艺的优缺点后,选择符合本试验要求的金硅键合工艺。根据所提出键合结构和金硅键合的特点设...
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