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[期刊论文] 作者：汪锁发, 尹恩华,,
来源：低温与特气 年份：1983
特种气体在国防、化工、电子、冶金、能源等现代科研部门和国民经济的一些领域中有着广泛的用途。尤其是对于电子部门中的半导体领域,这类气体更显得重要。从半导体材料...
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