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[学位论文] 作者：汪静妮,
来源： 年份：2016
随着电子器件性能的不断提高和材料应用范围的不断扩大,薄膜材料的研究获得了迅速发展,目前已成为真空、微电子和材料科学中一个最活跃的边缘学科。微结构控制对于实现以高性能的薄膜为基础的器件是至关重要的。总的来说,均质,致密,高度结晶的薄膜是必需的。本......
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