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[学位论文] 作者：沈修成,
来源： 年份：2009
传统给药方式是口服给药和静脉注射给药,它们是很方便的给药方式,可以满足大部分药物的需求。但是,这两种给药方式也有各自的缺点。口服给药由于要经过胃肠等消化道,经过新陈代谢作用,很多药物尤其是蛋白质类药物的药效降低;静脉注射给药不仅需要专业人员操作,......
[期刊论文] 作者：沈修成,方华斌,王亚军,刘景全,,
来源：传感技术学报 年份：2008
微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。...
[期刊论文] 作者：沈修成,刘景全,王亚军,郭忠元,芮岳峰,,
来源：传感技术学报 年份：2009
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅（100）面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥，然后采用电镀...
[期刊论文] 作者：王亚军,刘景全,杨春生,沈修成,郭忠元,
来源：微纳电子技术 年份：2008
介绍了聚合物Parylene，包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用，包括微阀、微泵和微通道；在可植入微系统中的应用，包括人工耳蜗和视网膜假...
[期刊论文] 作者：王亚军,杨春生,刘景全,沈修成,郭忠元,
来源：传感技术学报 年份：2009
提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5，通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起，底部直径为60／μm，高度大约为2......
[期刊论文] 作者：闫肖肖,沈修成,刘景全,杨春生,李以贵,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2011
为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥......
[期刊论文] 作者：闫肖肖,沈修成,刘景全,王亚军,孙文强,徐宇虹,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2009
介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式——透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实...
[期刊论文] 作者：王亚军,刘景全,沈修成,杨春生,郭中元,芮岳峰,,
来源：微细加工技术 年份：2008
首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随...
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