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[学位论文] 作者：沈蓓军,
来源：中国科学院上海光学精密机械研究所 年份：1999
该研究论文主要对微电子机械系统的制作工艺-激光LIGA工艺(LIGA工艺技术源自德国,名词LIGA是德文光刻、电铸、模铸的打头字母的组合)以及微电子机械系统的动力学特性研究进行...
[会议论文] 作者：沈蓓军,
来源：1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会 年份：1988
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[期刊论文] 作者：沈蓓军,邹海兴,
来源：LSI制造与测试 年份：1991
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[期刊论文] 作者：沈蓓军,邹海兴,
来源：LSI制造与测试 年份：1992
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[期刊论文] 作者：沈蓓军,邹海兴,,
来源：光学仪器 年份：1993
从光学线宽测量光强阈值理论、总体方案、精度分析计算等方面介绍了CDMS—1型电视线宽测量仪的总体设计。...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,王润文,
来源：光学精密工程 年份：1998
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺深层的光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,丁生华,
来源：光学精密工程 年份：1994
本文介绍了中科院上海光机所研制的ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量，以及掩模制造中的质量控制，ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量仪利用计算机对......
[期刊论文] 作者：沈蓓军,王润文,
来源：功能材料与器件学报 年份：1996
文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,丁生华,
来源：LSI制造与测试 年份：1992
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[会议论文] 作者：沈蓓军,王润文,路郭武,
来源：中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 年份：1999
文章建立了考虑转子变形的微静电电机的动力学分析模型，通过这一动力学分析模型分析研究了微静电电机的动力学运转特性，对微静电电机的转子与定子的间隙以及转子定子的尺寸变化......
[期刊论文] 作者：路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民,
来源：功能材料与器件学报 年份：1998
简要讨论了微机械系统的三种组装技术，即玻璃吸附针尖、微夹钳和具有人手功能的微机械手。把第一、二种技术有机结合是满足目前微机械系统组装需求的有效捷径。Three assemb...
[期刊论文] 作者：何伟,黄丽菊,路敦武,沈蓓军,
来源：光学技术 年份：1995
用于卫星探测等仪器中的扫描镜，形状一般为三面或四面镜，技术要求很高，因此，加工工具和方法也需要相应的改进。粗加工时主要控制面与面的角度和对称尺寸；精抛时即要注意面形，又要控......
[期刊论文] 作者：沈蓓军,汪骏发,刘宝丽,薛永祺,
来源：空间科学学报 年份：2002
4m高分辨对地观察小卫星是我国新近开展研制的遥感系列小卫星之一,其光学望远镜系统的设计因小卫星平台的结构而受到较为严格的限制.文章阐述了高分辨全色相机光学系统结构及...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,郭晴,肖金才,薛永祺,
来源：光学技术 年份：2004
介绍了一种取代预警卫星红外施密特望远镜折射校正板的二元衍射校正板的设计及工艺制作方法,并对该拚接组合型的二元衍射校正板的制作误差进行了分析....
[期刊论文] 作者：沈蓓军,王润文,路敦武,黄惠杰,
来源：光学精密工程 年份：1998
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺的深层光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。The design of an excimer l......
[会议论文] 作者：沈蓓军,王润文,路郭武,黄惠杰,杜龙龙,
来源：中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 年份：1999
文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,丁生华,邹海兴,路敦武,杨良民,
来源：光学精密工程 年份：1994
本文介绍了中科院上海光机所研制的ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量，以及掩模制造中的质量控制，ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量仪利用计算机对......
[期刊论文] 作者：路敦武,沈蓓军,王德林,何伟,黄丽菊,
来源：光学精密工程 年份：1995
从取放微机械构件的方式，对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究，并用所设计的组装装置进行了组装实验，得到了满意的结果。The research on the assembly tec...
[期刊论文] 作者：路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民,刘增水,何伟,
来源：光学精密工程 年份：1997
建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置，研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺，对得到的结果进行了分析和讨论。A standardized glass processing unit for ass...
[期刊论文] 作者：沈蓓军,王润文,路敦武,王立鼎,梁静秋,姚劲松,
来源：功能材料与器件学报 年份：1998
介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论，给出了ＫｒＦ准分子激光刻蚀紫外光刻胶的能量阈值......
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