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[期刊论文] 作者:周自强,李木军,李由,沈连嬉, 来源:机械设计 年份:2006
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[期刊论文] 作者:刘雳颋,沈连嬉,赵玮,于磊,张峰,田扬超,郑津津,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2008
为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系,利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究.引入田口方法关于信噪比统一测度的思想,获得了各加工...
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