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[期刊论文] 作者:王福玖,王宝林,胡问悌,徐守义,洪尊福,王德苗,任高潮,储建国,, 来源:真空科学与技术 年份:2020
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本文研究了涡轮分子泵的一种新颖除气法“内加热法”。详细介绍了此法的工作原理、装置结构、除气效果以及它对泵所产生的影啊。实践表明,这种除气法具有结构简单、操作方便...
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