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[期刊论文] 作者:温晓国,宫野,
来源:核聚变与等离子体物理 年份:1997
采用蒙特卡罗方法,模拟了ECR微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区,鞘层区,最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层外界处的衔接问题,得到了自洽电势分布和鞘层区......
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