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[学位论文] 作者：潘名军,,
来源：大连理工大学 年份：2006
随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展，对硅片的加工精度和表面质量提出了更高的要求，而传统的抛光技术已不能满足要求。化学机械抛光(CMP)是目前唯一能够实现硅片局部和全局平...
[期刊论文] 作者：潘名军,,
来源：世界制造技术与装备市场 年份：2013
诞生于20世纪80年代的陶瓷结合剂CBN砂轮为汽车零部件的磨削带来了革命性的变化。相对于传统磨具，陶瓷CBN大大提升了磨削效率，具有耐磨性好、磨削精度高、切削性能好、易于修整......
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