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[会议论文] 作者：潘晨博,查访星,
来源：第十七届全国凝聚态光学性质会议 年份：2014
飞秒激光是一种有效的半导体微加工技术，但对于加工后半导体的电学性质研究较少。经激光诱导电流(LBIC)检测实验表明P型碲镉汞经飞秒激光刻蚀的区域的局域电学性质反型(由...
[期刊论文] 作者：张赫,蒋鸿儒,潘晨博,
来源：合肥工业大学学报:自然科学版 年份：2021
飞秒激光对碲镉汞(HgCdTe)材料刻蚀形成PN结。文章进行了飞秒激光刻蚀试验,使用1 kHz飞秒激光在P型HgCdTe上刻蚀形成线刻蚀区域,并采用激光束诱导电流(laser beam induced current,LBIC)技术对刻蚀区域进行光电流性质探测。试验结果表明,LBIC扫描信号的峰形表现......
[期刊论文] 作者：潘晨博,陈熙仁,公民,戴晔,邵军,查访星,,
来源：红外与毫米波学报 年份：2016
飞秒激光对p型Hg Cd Te打孔形成PN结.该实验基于1 k Hz低重复频率飞秒激光采用不同脉冲数在p型Hg Cd Te上打孔形成尺寸不同的微孔结构.实验发现脉冲数是影响成结效果的重要参...
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