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[期刊论文] 作者:牛蒙年, 来源:传感器技术 年份:1993
集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。...
[期刊论文] 作者:牛蒙年,林崴, 来源:应用科学学报 年份:1995
报道了一种含微参比电极的差分结构,并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应(pH-ISFET)新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规N阱MOS工艺,研制......
[期刊论文] 作者:丁辛芳,牛蒙年, 来源:电子测量与仪器学报 年份:1995
基于场效应型红离子敏传感器(H+-ISFET)参数及电流-电压特性,归结出四种H+-ISFET传感器的四种测量工作模式,从应用角度讨论了它们的适用条件以及实现差动输出测量的简单方法。实验结果表明,由H+-ISFET/REFET对管构成的差动输出电路具有较好的共模抑制能力和H+离子敏感性......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:电子科学学刊 年份:1996
本文提出了用SPICE软件模拟pH-ISFET器件及其电路的方法。通过SPICE内部的MOSFET参数和引入一些信号源来实现对pH-ISFET传感器及其电路的pH灵敏度关系,瞬态响应以及温度特性的模拟,所得结果与实验观测结果基本相符......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:半导体学报 年份:1996
在表面基模型理论基础上,本文研究了含两种表面基的Si3N4绝缘体主其两种表面基的比例系数对pH-ISFET器件敏感特性的影响。在硅西文/胺基=7/3附近时,得到电解液-绝缘体界面势对pH值的灵敏度最大,且线性......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:半导体学报 年份:1996
基于统计物理学和两层有附模型提出氧经物-电解溶液界面的表面基吸附模型,推导出完全由微观物理,化学参量描述的OAE界面电荷密度与电势的关系表达式,结果与实验数据的拟合在零电荷点......
[期刊论文] 作者:丁辛芳,牛蒙年, 来源:仪器仪表学报 年份:1994
背面引线的新型集成pH-ISFET传感器的研制丁辛芳,牛蒙年,俞海明,丁耘(东南大学微电子中心)0引言pH-ISFET同传统的离子选择电极相比更具吸引力[1~5],因为ISFET适于硅工艺大批量生产,降低了单个器件的成本及器件性......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,鲍凤歧, 来源:内蒙古大学学报:自然科学版 年份:1992
采用烧结法合成Zn2SnO4复合氧化物,具有反尖晶石结构的弱N型半导体材料,其气敏性能引人注目,尤其是对乙醇具有较高的灵敏度和选择性.当掺入少量氧化物杂质,可以看到灵敏度和...
[期刊论文] 作者:鲍凤岐,牛蒙年, 来源:内蒙古大学学报:自然科学版 年份:1989
本文研究了不同原料配比对SnO2-ZnO陶瓷的结构及其热敏特性的影响,通过改变SnO2和ZnO的比例可以获得室温电阻率为10-3Ω-cm到106Ω-cm,B值为200到22000,工作温度范围在70到12...
[期刊论文] 作者:丁辛芳,牛蒙年, 来源:传感器技术 年份:
近年来对基于MOS技术制造的离子散场效应晶体管(ISFET)的特性研究做了大量的工作。综述了ISFET器件(尤其是pH-ISFET)在敏感机理、集成化、封装和应用等方面的研究状况与新进展。......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:应用科学学报 年份:
报道了一种新型微流通池pE-ISFET集成传感器,该集成传感器采用常规IC工艺、微加工技术和键合技术,实现微流通池、四对长臂式ISFET/REFET传感器(差分测量用)和Ti/Au膜伪参考电极芯片一体化结构,芯片面积为8mmx6mm,微流通池体积为0.7mmx5.0mm×0.3mm,当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池pH-ISFET流动注入分......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:传感器技术 年份:1995
报道了采用集成技术制备的差分对结构PH-ISFET传感器及其特性,实验结果表明,ISFET器件性能良好,经差分放大器输出可以改善恒流电路测量的响应特性,且有效地抑制温漂、时漂等不稳定因素,采用金膜......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳, 来源:传感器技术 年份:1994
集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况,包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。...
[会议论文] 作者:丁辛芳,牛蒙年, 来源:第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1995
[期刊论文] 作者:牛蒙年,鲍凤岐, 来源:传感技术学报 年份:1991
本文试图对半导体陶瓷气敏元件的敏感机理提出理论模型。假定吸附表面态由吸附的氧离子构成,则在吸附还原气体时,将伴随着向体内发射自由电子。运用统计热力学的一般方法给出...
[期刊论文] 作者:牛蒙年,袁璟,林崴, 来源:固体电子学研究与进展 年份:
在对pH-ISFET传感器参数及其输出特性分析的基础上,讨论了四种测量pH-ISFET传感器的模式和适用条件,以及实现差分测量的简单方法。在ISFET/REFET差分对结构测量中,以金膜作为辅助电极取代传统的甘汞参考电极仍得到较好的线性响应。......
[会议论文] 作者:牛蒙年[1]王淑波[2], 来源:第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1997
该文报道了一种双框架式微机械陀螺的设计与准LIGA制备工艺。采用有限元方法分析微陀螺结构参数对性能的影响,并设计出微机械陀螺的结构参数,可动区域面积0.8×0.9mm<’2>,厚度为3.9μm,内外框架本征......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳,童勤义, 来源:仪器仪表学报 年份:1995
离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年(中国科学院上海冶金所)丁辛芳,童勤义(东南大学)0引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年,目前已能成功地对二十多种离子进行传感,而且形......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳,童勤义, 来源:电子学报 年份:1996
本文在表面基模型基础上,借用半导体物理中复合/产生概念,提出表面基/复合中心模型,并研究了含两种类型表面基的Si3N4绝缘体及其两种表面基(硅醇基和胺基)的比率对Si3N4栅pH-ISFET敏感性能和稳定性的影......
[期刊论文] 作者:牛蒙年,丁辛芳,童勤义, 来源:传感器技术 年份:1994
集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况,包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。...
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