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[会议论文] 作者：王增梅[1]ZhenxiangCheng[2],
来源：第十五届全国电介质、材料与应用学术会议 年份：2014
本文采用溶胶-凝胶技术在(100)Si 衬底上沉积BaTi0.8Zr0.2O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3(BZT-0.5BCT)压电薄膜,并探讨退火温度(800℃,750℃,700℃,650℃)对薄膜压电性能、纳米...
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