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[期刊论文] 作者:王宪桥,
来源:安装 年份:2020
洁净室内压差变化对实验室整体环境控制起着重要作用,本文以相邻两间洁净室的洁净度测试为例,通过测量不同压力梯度下的含尘浓度(以≥5μm粒径为准),分析不同压力变化梯度下洁净室含尘浓度变化,验证压差在洁净区域中的作用。通过加强洁净室气密性及通风系统严密性等手......
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