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[学位论文] 作者：王成瑾,,
来源：深圳大学 年份：2017
TOF(Time-of-Flight,飞行时间)芯片是一种精确测量场景深度信息的传感器,广泛应用于军事、航天航空、导航通信等国防建设的激光测距领域。由于TOF芯片使用单光子发射到遇物体...
[期刊论文] 作者：谢刚,徐渊,张子龙,廉德亮,刘诗琪,王成瑾,
来源：半导体光电 年份：2018
设计了一种基于SMIC 0.13μm CIS工艺的单光子飞行时间(TOF)传感器像素结构。针对传统单光子雪崩二极管(SPAD)结构的不足, 采用p阱和STI共同作为保护环, 避免器件提前发生边缘击穿从而减小器件面积, 增加深n阱使有源区耗尽层变窄, 从而降低雪崩击穿电压, 增加硅......
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