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[学位论文] 作者:王罗凯, 来源:沈阳理工大学 年份:2023
本文为了对Al/CuO复合含能薄膜总厚度在1μm以下时,不同的Al与CuO调制周期对半导体桥(SCB)换能元性能影响进行相应研究。采用磁控技术溅射Al/CuO复合含能薄膜与SCB换能元相集成制备得到Al/CuO换能元,溅射Al/CuO复合含能薄膜的Al与CuO调制周期分别为100nm:200nm、1......
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