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[学位论文] 作者:王聪瑜, 来源:中国科学院上海光学精密机械研究所 年份:2006
惯性约束聚变(Inertial Confinement Fusion,ICF)是当今国际上的重大前沿基础科研领域,它对于开发、利用新能源,解决地球日益严重的能源危机以及国防科技都具有深远的科学意义和...
[期刊论文] 作者:庞向阳,王聪瑜,汤更秀,刘志刚,朱健强, 来源:机械设计与制造 年份:2003
在神光Ⅱ装置精密化研究过程中,研制了一种新型驱动式弹性联轴器,实现电机驱动平移,有效补偿两轴的空间位移,缓冲和减小两轴传动引起的振动,提高光束控制的稳定性和精度,已广...
[期刊论文] 作者:王聪瑜,刘志刚,庞向阳,汤更秀,朱健强,, 来源:光子学报 年份:2005
从靶场反射镜架模块的机械结构设计布局所需几何空间的角度出发,根据大口径、列阵器件的特殊要求,给出符合'神光III'装置总体技术要求的ICF靶场光束口径与列阵间隔之...
[期刊论文] 作者:汤更秀,刘志刚,王聪瑜,庞向阳,朱健强,, 来源:光子学报 年份:2006
采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介......
[会议论文] 作者:王勇,王聪瑜,马雪梅,刘志刚,朱健强, 来源:第八届全国激光科学技术青年学术交流会 年份:2005
采用拼接法实现大口径光栅在原理上得到证明并且得以实验论证,而其中的关键技术是对光栅进行精密的调整.本文对影响光栅拼接结果的主要因素进行简要的介绍,提出一种五自由度...
[会议论文] 作者:程诚,贾成厂,王召利,黄小泓,王聪瑜, 来源:2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会 年份:2015
以高纯α-Al2O3粉体为原料,MgO为烧结助剂,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备氧化铝陶瓷.研究了烧结助剂含量和烧结温度对氧化铝陶瓷的致密化过程及显微结构影响,并分析了烧结过程中气孔的扩散与演变.结果表明:添加适量MgO可以降低氧化铝陶瓷的烧结温度,抑制晶粒......
[期刊论文] 作者:程诚,纪箴,贾成厂,王召利,黄小泓,王聪瑜, 来源:粉末冶金技术 年份:2015
以高纯α-Al_2O_3粉体为原料,MgO为烧结助剂,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备氧化铝陶瓷。研究了MgO添加量和烧结温度对氧化铝陶瓷致密化过程及显微结构的影响,并分析了烧结过...
[会议论文] 作者:王聪瑜,贾成厂,张有茶,程诚,黄小泓,夏洋, 来源:2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会 年份:2015
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工...
[会议论文] 作者:王聪瑜,贾成厂,夏洋,张有茶,程诚,黄小泓, 来源:2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会 年份:2015
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基......
[期刊论文] 作者:纪箴,王聪瑜,夏洋,贾成厂,张有茶,程诚,黄小泓,, 来源:粉末冶金技术 年份:2015
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺......
[期刊论文] 作者:张有茶,夏洋,贾永昌,张庆钊,王文东,刘金虎,王聪瑜, 来源:2014年全国热喷涂技术经验交流会暨《热喷涂技术》期刊年会 年份:2014
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子Ic制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀.本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,...
[会议论文] 作者:张有茶,夏洋,张庆钊,王文东,刘金虎,贾永昌,王聪瑜, 来源:2014年全国热喷涂技术经验交流会暨《热喷涂技术》期刊年会 年份:2014
  干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子Ic制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与...
[期刊论文] 作者:唐贤忠,朱俭,戴亚平,马伟新,陆锡南,王聪瑜,夏志强,胡静芬, 来源:中国工程物理研究院科技年报 年份:2004
第9路已基本建成并投入试运行,现能输出脉宽2ns,能量1.5kJ的倍频激光,开始用作X光背光驱动源。...
[会议论文] 作者:王聪瑜,张有茶,夏洋,张庆钊,王文东,刘金虎,贾成厂,贾永昌, 来源:第十七届国际热喷涂研讨会暨第十八届全国热喷涂年会(CNTSC`2014) 年份:2014
随着等离子喷涂技术的发展,加之YSZ陶瓷涂层的高强度、化学稳定性等优点,使其得到了迅速发展.本研究采用等离子喷涂技术制备了不同厚度的8 wt.%氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层...
[会议论文] 作者:王聪瑜,夏洋,贾成厂,贾永昌,张庆钊,王文东,刘金虎,张有茶, 来源:第十七届国际热喷涂研讨会暨第十八届全国热喷涂年会(CNTSC`2014) 年份:2014
随着等离子喷涂技术的发展,加之YSZ陶瓷涂层的高强度、化学稳定性等优点,使其得到了迅速发展.本研究采用等离子喷涂技术制备了不同厚度的8 wt.%氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层...
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