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[期刊论文] 作者：王鸿睿 梁柱 段国栋 马炎,
来源：科技信息·学术版 年份：2021
摘要：伴随着科学技术的不断发展，微系统在国防科技中的应用范围也在扩大，能在打造结构智能化应用体系的同时，实现元件轻量化和小型化发展目标，从而提高航空控制工作的整体效益。本文分析了MEMS技术发展现状，并对其未来发展趋势予以讨论。 关键词：MEMS技术;发展现状;......
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