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[会议论文] 作者：甘志银,
来源：第十届中国国际半导体照明论坛 年份：2013
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[学位论文] 作者：甘志银,,
来源：华中科技大学 年份：2008
MEMS器件不同于集成电路的典型特征是具有传感、致动、三维结构、功能多样性,使得MEMS封装技术更具挑战性,成为MEMS器件走向市场应用的一个技术瓶颈,其中真空封装技术是一个...
[会议论文] 作者：甘志银,
来源：第十二届全国MOCVD学术会议 年份：2012
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[期刊论文] 作者：沈桥,甘志银,
来源：科技传播 年份：2012
本文概括了MOCVD设备中石墨盘的失效形式以及相应的危害。运用流体,热场和应力场耦合的有限元方法对MOCVD腔体进行模拟,重点模拟石墨盘在正常工作、加热器三区各自分别失效以...
[期刊论文] 作者：王亮,甘志银,
来源：大科技·科技天地 年份：2004
金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)设备是生产半导体照明芯片最关键的设备.本文将主要介绍本研发团队开发的MOCVD控制系统,此控制系统...
[会议论文] 作者：甘志银,严晗,
来源：第13届全国MOCVD学术会议 年份：2014
LED产业的高速发展需要降低成本和提高良率来推动,高性能、智能化、规模化的新型设备将更具优势.随着LED性能的不断提升,MOCVD设备面临一系列的挑战,包括更低的设备硬件和维护成本,更少的反应源消耗和工艺生长时间,更高的外延芯片产能和良率等.......
[会议论文] 作者：吕强,甘志银,
来源：第13届全国MOCVD学术会议 年份：2014
GaN基LED的失效主要来自于芯片有源层过热损伤、金属电极的稳定性、静电损伤(ESD)及封装材料的退化等.对GaN基LED来说,提升芯片结构中的电流扩展能力能提高ESD的良率[1].在早期LED的生长过程中,低温生长的MQW是直接沉积在高温n-GaN层上的,较大的生长温差会导致......
[期刊论文] 作者：付亿元, 甘志银,
来源：电力电子技术 年份：2022
随着大功率直流电源的频率和功率密度不断提高,散热设计变得愈加关键。大功率电源内部热量高,易造成局部温度过热,导致元器件损坏,进而使电源不能正常工作。以一台80 V/62.5 A的高功率密度直流电源为研究对象,首先介绍了所用电路拓扑,分析其关键器件的损耗,确定......
[期刊论文] 作者：关国坚,甘志银,,
来源：机电一体化 年份：2012
为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题，设计了一种基于单片机的变换结构，利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能，准确跟踪和定位采样位置。基于这种结......
[期刊论文] 作者：蒋小敏,甘志银,
来源：装备制造技术 年份：2014
为了研究真空腔体环境中O型圈和燕尾槽结构的密封性能和密封作用面位置,首先介绍了O型圈在腔体密封中的广泛使用的现状,以及在MOCVD设备中的使用,接着介绍O型圈密封机理和失...
[期刊论文] 作者：关国坚,甘志银,,
来源：计量与测试技术 年份：2012
为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOC...
[期刊论文] 作者：黎藜,甘志银,张鸿海,,
来源：电子技术应用 年份：2009
基于Excel开发实时监控人机界面（HMI）软件的技术路线，大大降低了实时监控人机界面软件的开发难度和工作量，大幅度地缩短了开发周期，节省了研发费用和投资；不仅使所开发出的软件具有......
[期刊论文] 作者：陈明祥,甘志银,刘胜,
来源：功能材料与器件学报 年份：2006
选用垂直于其表面的射频磁场对镀金膜的硅片进行了感应加热，由于磁场对材料加热具有选择性，感应热量首先作用于硅片上的金膜内，硅片先被传导加热到一定温度，然后被感应加热。理论......
[期刊论文] 作者：王亮，甘志银，WangLiang，GanZhiying,
来源：黑龙江科技学院学报 年份：2010
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7...
[期刊论文] 作者：陈明祥,甘志银,刘胜,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2006
选用垂直于其表面的射频磁场对镀金膜的硅片进行了感应加热,由于磁场对材料加热具有选择性,感应热量首先作用于硅片上的金膜内,硅片先被传导加热到一定温度,然后被感应加热。...
[期刊论文] 作者：刘玉贵,甘志银,孙江平,,
来源：机械与电子 年份：2014
利用GaN MOCVD设备的气源输运系统结构,分析了单稀释MO源管路和双稀释MO源管路的工作原理及特点,提出了MO源摩尔流量的计算公式和一种零死区管路设计方案;并且把管路压差控制...
[期刊论文] 作者：张廷凯,甘志银,张鸿海,,
来源：宇航计测技术 年份：2009
在J．Vanier工作的基础上，根据Get（Coherent Population Trapping：相干布局数囚禁）原子钟的系统组成和工作原理，导出了基于CPT原理原子钟的频率控制系统模型，对于基于CPT原理原子钟的...
[期刊论文] 作者：陈倩翌,甘志银,胡少林,,
来源：科技传播 年份：2011
本文运用流体与热场耦合的有限元方法对BDS(缓冲分布喷射式)腔体结构、大尺寸石墨盘、电阻片式加热器的MOCVD反应腔体进行高温环境的稳态建模仿真,得到石墨盘表面的温度分布,...
[期刊论文] 作者：张廷凯,甘志银,张鸿海,,
来源：传感器与微系统 年份：2009
介绍了用2个电极通过一次电极反接的方式实现多层样片之间阳极键合的操作工艺和键合机理，并以玻璃-硅-玻璃三层结构为例对其进行了实验研究。结果显示：多余的玻璃对第一次键合......
[期刊论文] 作者：朱海科,甘志银,刘宇峰,,
来源：机电工程 年份：2011
为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商...
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