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[期刊论文] 作者：田陆屏,
来源：电子工业专用设备 年份：1999
阐述了分步光刻机的发展方向和国内现状，就０５μｍ分步光刻机的设计难点和所采用的关键技术作了进一步的分析。提出了关键技术所采用的设计方案，并对影响、难度最大的工作台技术、......
[期刊论文] 作者：田陆屏,,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
随着集成电路在全球经济中扮演的角色日益重要，集成电路关键设备已成为集成电路发展过程中的战略焦点。本文通过对目前集成电路设备的国内外市场分析，在提醒相关产业部门注意集......
[期刊论文] 作者：田陆屏,
来源：电子工业专用设备 年份：1994
本文通过对电容组装机束腰封口机构精度分析，从理论上对束腰封口的可靠性给予了剖析；并在分析连杆组误差时引出了独立变量法；同时从设计理论上结合实际问题做了凸轮曲线的修正。......
[期刊论文] 作者：田陆屏,
来源：电子工业专用设备 年份：2000
主要对０．５μｍ分步光刻机的几个代表性参数即：投影镜头分辨率、照明均匀性，套刻精度，工作台步进精度，镜头畸变等引起误差的原因，测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结，在......
[期刊论文] 作者：田陆屏,
来源：电子工业专用设备 年份：1989
引言 振动料斗是带有电磁振动器的振动上料装置,其在电子工业中应用非常广泛。由于电子工业的零器件、外形尺寸、强度、刚度都很小数量又很多,所以其可以在振动料斗的螺...
[期刊论文] 作者：田陆屏,
来源：电子工业专用设备 年份：1999
阐述了分步光刻机的发展方向和国内现状，就０．５μｍ分步光机的设计难点和所采用的关键技术作了进一步分析。提出了关键技术所采用的设计方案，并对影响、难度最大的工作台技术、自动对......
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