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[期刊论文] 作者：简珂,帅垚,田本朗,白晓园,罗文博,吴传贵,张万里,
来源：压电与声光 年份：2020
采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜体声波器件。谐振器工作频率约为3 GHz,LN薄...
[期刊论文] 作者：方远苹,罗文博,郝昕,白晓园,曾慧中,帅垚,张万里,
来源：压电与声光 年份：2020
通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和...
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