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[期刊论文] 作者：白金浩 万聪,
来源：速读·下旬 年份：2016
摘 要：从电子元器件气密性封装的原理入手，介绍了常用的检漏试验方法，阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展，分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求，并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。 关键词：氦质谱；密封；标准；试验方法 1 常用......
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