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[期刊论文] 作者：邱东江, 郝天亮, 石成儒,,
来源：表面技术 年份：2000
介绍了 ｃ－ＢＮ的优异特性及应用前景。评述了 ｃ－ＢＮ膜的几种低压物 理气相沉积（ＰＶＤ）和低压化学气相沉积（ＣＶＤ）制备方法，分析其成膜特点及对ｃ－ ＢＮ形成有显著影响的工艺参数。介绍了当前ｃ－ＢＮ膜研究取得的成果，对......
[期刊论文] 作者：邱东江, 石成儒, 吴惠桢,,
来源：物理学报 年份：2002
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜 .用扫描电子显微镜 (SEM)和台阶仪观测薄膜的表面...
[期刊论文] 作者：郝天亮,石成儒,韩高荣,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
石英玻璃衬底在金刚石粉和丙酮形成的悬浮液中超声波预处理,有效提高了金刚石成核密度.在最佳预处理和热丝化学气相沉积条件下,成核密度高达1010 cm-2以上.采用HFCVD中四步法...
[期刊论文] 作者：张衡,郝天亮,石成儒,韩高荣,
来源：红外与毫米波学报 年份：2006
用热丝化学气相沉积方法研究了低温（-550℃）和低反应气压（-7 Torr）下硅片上金刚石膜的成核和生长．成核过程中采用2．5％的CH。浓度，在经充分超声波预处理的硅片上获得了高达1．5×10^......
[期刊论文] 作者：郝天亮,石成儒,曾耀武,邱东江,
来源：杭州大学学报(自然科学版) 年份：1997
本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法，有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核，大大提高成核密度，使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到1010和10......
[期刊论文] 作者：邱东江,吴惠桢,陈奶波,石成儒,
来源：红外与毫米波学报 年份：2002
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜.研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性...
[期刊论文] 作者：邱东江,吴惠桢,石成儒,徐晓玲,郝天亮,
来源：功能材料 年份：2002
采用扫描电镜、Ｘ射线衍射及喇曼光谱等手段研究了ＨＦＣＶＤ过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子，进而从反应气体中激发出更多原子Ｈ和ＣＨ３＋，使金刚石晶核......
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