搜索筛选:
搜索耗时0.0337秒,为你在为你在61,042,059篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：秦亚州,,
来源：浙江理工大学 年份：2020
随着微电子工艺的不断进步,硅材料被广泛应用在集成电路的制造过程中,这也对硅材料提出了非常严格的要求。在辐照环境中硅半导体器件会造成不同程度的损伤,包括低能量辐照引起的电离损伤和高能量辐照引入的位移损伤,从而降低器件的使用寿命,甚至会导致器件失效......
相关搜索：
