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[期刊论文] 作者：刘成群,程壹涛,
来源：电子工业专用设备 年份：2021
通过传统划片技术与隐形切割的比较,介绍了隐形切割的技术特点;对隐形切割的基本原理、激光波长选择、切割过程中晶圆内改质层的形成机理做了详细分析;重点介绍了隐形切割技术在MEMS器件晶圆划片工艺中典型应用,对有关问题给出了解决方案。......
[期刊论文] 作者：程壹涛,刘成群,吴海,
来源：电子工业专用设备 年份：2021
介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理.同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施.......
[期刊论文] 作者：刘成群,程壹涛,刘宇宁,
来源：电子工业专用设备 年份：2021
介绍了MOCVD设备射频感应加热系统的工作原理及技术特点.结合射频感应加热系统的组成,详细叙述各主要模块的典型故障及维修技术,重点分析射频功率源电路故障及维修.针对射频系统阻抗失配现象,提出了阻抗匹配调整的实用方法.根据多年的设备维护经验,归纳MOCVD设......
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