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[期刊论文] 作者:王向武,程祺祥, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2000
生长短周期AlGaAs/GaAs超晶格,并通过双晶X射线衍射谱,对MOCVD超薄层AlGaAs、GaAs的生长进行了研究。从衍射谱卫星峰的级数及Pendellosong干涉条纹的出现,定性地对晶格结构及界面作出评价。X光衍射测量结果与HEMT结构电学性能......
[期刊论文] 作者:王向武,程祺祥,张岚, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2001
采用CCl4作为碳掺杂源,进行了重掺碳GaAs层的LP-MOCVD生长,并且对掺杂特性进行了研究,研究了各生长参数对掺杂的影响.CCl4流量是决定掺杂浓度的主要因素.减小生长温度、减小...
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