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[学位论文] 作者：窦银萍,,
来源：长春理工大学 年份：2015
极紫外光刻技术是制造特征尺寸小于22 nm芯片的首选关键技术,光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光等离子体极紫外光源因体积小、亮度高并通过选择靶材及控制等离子体参...
[学位论文] 作者：窦银萍,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2004
近几十年来,由于广义系统在化学过程、电力系统、核反应堆、机器人操纵系统、生物系统等实际系统的广泛应用,得到了许多学者的关注。同时广义系统的稳定性问题更是其研究的重...
[期刊论文] 作者：窦银萍,孙长凯,林景全,,
来源：中国光学 年份：2013
研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状...
[期刊论文] 作者：吴家志,谢卓,窦银萍,林景全,
来源：应用物理 年份：2019
极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可...
[期刊论文] 作者：窦银萍, 谢卓, 宋晓林, 田勇, 林景全,,
来源：物理学报 年份：2015
本文对Gd靶激光等离子体极紫外光源进行了实验研究,在6.7 nm附近获得了较强的辐射,并研究了6.7nm附近光辐射随打靶激光功率密度变化的规律以及收集角度对极紫外辐射的影响.同...
[期刊论文] 作者：石啸松,廉帅,窦银萍,高勋,林景全,
来源：中国激光 年份：2020
开展了入射角度对1064 nm纳秒激光诱导水下等离子体声波信号特性影响的研究,结果表明:当激光垂直入射时,激光诱导水下等离子体声波信号强度最大;随着入射角度增大,激光诱导水下等离子体声波信号强度逐渐减弱。由等离子体发光图像可知,激光诱导水下等离子体产生......
[期刊论文] 作者：黄光明,窦银萍,张静梅,张培新,高孝礼,
来源：岩矿测试 年份：2008
建立了电感耦合等离子体质谱法同时测定地下水中B、Br、I的方法。选定φ=2％（体积分数）的稀NH3·H2O介质消除碘的记忆效应。采用干扰较少的^10B和^79Br同位素。B、Br,I在0～100...
[期刊论文] 作者：谢卓, 王海建, 窦银萍, 宋晓伟, 林景全,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2022
激光等离子体极紫外光源具有体积小、稳定性高和输出波长可调节等优势，在极紫外光刻领域发挥着重要的作用。Bi靶激光等离子体极紫外光源在波长9～17 nm范围内具有较宽的光谱，可应用于制造极紫外光刻机过程中所需的极紫外计量学领域。利用平像场光谱仪和法拉第杯对Bi......
[期刊论文] 作者：刘超智,窦银萍,张龙,孙长凯,郝作强,林景全,,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2015
极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的...
[期刊论文] 作者：王海建,窦银萍,李镇广,谢卓,宋晓伟,林景全,
来源：应用物理 年份：2020
激光等离子体EUV光源对于集成电路纳米尺度器件的制造具有重要意义。激光等离子体EUV光谱的优化是EUV光源广泛使用的前提,所以本文通过增大入射激光能量,改变光斑大小和脉冲...
[期刊论文] 作者：李镇广,窦银萍,谢卓,王海建,宋晓伟,林景全,
来源：中国激光 年份：2021
开展结构Sn靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究,对波长为1064 nm的脉冲激光等离子体产生的极紫外光谱进行研究。实验结果表明,当激光能量为500 mJ,结构靶凹槽深度为100 μm、宽度为300 μm时,结构靶凹槽产生13.5 nm(2%带宽)带内光辐射积分强度的增强倍率约为平......
[期刊论文] 作者：谢卓,温智琳,司明奇,窦银萍,宋晓伟,林景全,
来源：物理学报 年份：2022
高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—G d 27+离子最外层4d壳层的4p......
[期刊论文] 作者：宋晓林,宋晓伟,窦银萍,田勇,谢卓,高勋,林景全,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2016
利用脉冲宽度为10ns,输出波长为1 064nm的Nd∶YAG激光器作用金属Gd以及纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃等两种形式靶所产生等离子体光源的离带辐射进行了研究,发现等离子体所发出...
[期刊论文] 作者：司明奇,温智琳,张齐进,窦银萍,李博超,宋晓伟,谢卓,林景全,
来源：物理学报 年份：2020
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO2靶对极紫外光源以及其离带热辐射进行研究.实验结果表明,两种......
[期刊论文] 作者：司明奇,温智琳,张齐进,窦银萍,李博超,宋晓伟,谢卓,林景全,
来源：物理学报 年份：2020
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首．高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分．本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO2靶对极紫外光源以及其离带热辐射进行研究．实验结果表明，两种形式......
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