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[期刊论文] 作者：陆明莹,简耀光,
来源：电子器件 年份：1986
用氨气对热生长的二氧化硅膜进行了氮化处理,测试了膜的电学特性,并研究了工艺对它们的影响。实验发现,热氮化二氧化硅膜兼有二氧化硅与氮化硅膜的优点,而且界面电荷在较大范...
[期刊论文] 作者：张佐兰,简耀光,
来源：电子器件 年份：1989
一、引言 硅膜广泛用于集成电路和传感器中。硅膜厚度及其均匀性对器件性能影响很大,尤其制备SiO_2上的硅膜是实现集成电路三维结构的关键,它将增加器件设计的灵活性。因此,...
[期刊论文] 作者：商陆民,张家慰,简耀光,
来源：半导体技术 年份：1987
本文报导对热氮化SiO_2膜的研究结果.热氮化SiO_2膜的腐蚀特性、抗氧化特性的研究表明膜的化学结构与SiO_2不同.采用AES表面分析技术观察了膜中化学成份,从而证实了膜中的氮...
[期刊论文] 作者：秦祖新, 张安康, 简耀光,,
来源：华中理工大学学报 年份：1988
本文在研究玻璃粉电泳沉积机理的基础上,建立了电泳动力学模型并用计算机进行了分析,分析结果与实验相吻合。...
[期刊论文] 作者：张佐兰,田耘,简耀光,,
来源：传感器技术 年份：1989
一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度...
[期刊论文] 作者：刘光廷,许健,简耀光,,
来源：南京工学院学报 年份：2004
借助于俄歇电子能谱分析,结合氩离子溅射剥蚀,对全面积超薄铝膜的AI/S_iO_x/S_iMIS结构太阳电池的纵向组份分布进行了研究。结果表明,实际的纵向结构为AI/AI_2O_3(+S_i)/S_i...
[期刊论文] 作者：陆明莹,张家慰,简耀光,,
来源：南京工学院学报 年份：1985
用氨气对热生长的二氧化硅膜进行了氮化处理,测试了膜的电学特性,并研究了工艺对它们的影响。实验发现,热氮化二氧化硅膜兼有二氧化硅与氮化硅膜的优点,而且界面电荷在较大范...
[期刊论文] 作者：赵正平,张家慰,简耀光,,
来源：真空科学与技术 年份：1984
本文利用AES、XPS研究了硅上厚7A～47A的超薄氧化硅膜的化学键态。讨论了无定形SiO_2和Si衬底之间的界面区的化学结构。In this paper, the chemical bonding state of ultra...
[期刊论文] 作者：蔡跃明,吕世骥,简耀光,
来源：固体电子学研究与进展 年份：1988
一、 引言 低温能避免高温引起的杂质再分布,杂质表面耗尽,“鸟嘴”结构形成,以及硅片翘曲和热诱生缺陷等,保证高密度IC的实现。硅的低温氧化,是VLSI制作中尚未解决的重要课...
[期刊论文] 作者：邢维龙,章未,简耀光,李忠实,
来源：江苏高教 年份：1989
【正】 高等教育的改革与发展,如何满足经济和社会发展多方面的需求,如何适应经济体制改革和政治体制改革的需要,如何适应我国社会主义有计划商品经济的发展,适应国际竞争和...
[期刊论文] 作者：田耘,张佐兰,童勤义,简耀光,
来源：固体电子学研究与进展 年份：1988
一、引言 制备新型高质量SOI材料的直接键合法——SDB技术(Silicon-Wafers Direct Bonding Technique)正受到人们的密切注视。如何获得制作器件所需要的硅膜,这是SDB技术步...
[期刊论文] 作者：张安康,夏海良,简耀光,王科鸣,,
来源：南京工学院学报 年份：1986
本文介绍了以电泳涂敷法制成的较薄玻璃膜为介质膜的金属—玻璃—半导体(MGs)结构的C—V特性测量,介绍了离子探针(IMA)测量玻璃膜的性质以及运用计算机进行曲线拟合。结果表...
[期刊论文] 作者：有洪星,刘光廷,简耀光,邵力为,,
来源：南京工学院学报 年份：1988
多晶硅目前正广泛地应用于大规模集成电路、P-N结器件和太阳电池等领域之中,但是,由于多晶硅中存在着大量的晶粒间界,晶粒间界既是多数载流子输运的阻挡势垒,又是少数载流子...
[期刊论文] 作者：有洪星,刘光廷,简耀光,邵子为,
来源：半导体技术 年份：1988
本文用俄歇电子能谱(AES)证明了铝原子在多晶硅晶粒间界分凝的现象,并研究了多晶硅的势垒电阻、少子寿命和霍耳迁移率.实验结果表明:铝原子的晶粒间界分提与铝原子的性质、铝...
[期刊论文] 作者：骆志强,陆淑伟,黄金彪,冯耀兰,童勤义,简耀光,
来源：固体电子学研究与进展 年份：1988
本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设计灵活,为解决传感器的集成化、多功能化,实...
[期刊论文] 作者：李升福,王泽华,李朗田,夏柳静,简耀光,侯建生,陈石羡,
来源：湖北省地质学会成立50周年暨学术年会 年份：2009
在系统阐述桂西南地区成锰盆地、含锰沉积建造、含锰岩系时空分布特点的基础上,探讨了该区锰矿的形成环境,提出"宁干式"正常沉积-次生氧化矿床、"东平式"淋积型锰矿床、"下雷...
[会议论文] 作者：李升福,林健,马斌,李朗田,杨艺华,周尚国,苏绍明,王泽华,冯松青,夏柳静,简耀光,黄桂强,
来源：“十五”重要地质成果暨重大找矿成果交流会 年份：2006
本文对桂西南优质锰矿勘查进展进行了介绍。文章通过对已有锰矿地质、矿(床)点及矿化点资料的收集、整理、总结,根据桂西南地区锰矿床的成矿地质特征,采用地质调查,配合探矿...
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