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[期刊论文] 作者：赵毅红,李芳芳,王博锋,叶成聪,缪雨龙,陈海波,陈荣发,
来源：真空科学与技术学报 年份：2023
纳米TiN薄膜可用来抑制高频陶瓷窗片的二次电子倍增，缩短器件高功率老炼时间，提高微波发射性能。本文通过专用真空镀膜设备，采用同轴圆柱靶和平面靶的直流磁控反应溅射方法，通过优化制备工艺参数，在陶瓷窗片的表面成功制备了纳米氮化钛（TiN）薄膜。采用扫描电子显微镜（SE......
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